淺析等離子清洗機在使用中四大影響要素

　　隨著我國科技的進步，等離子清洗機在現代工業上高速發展，原因也很簡單，選擇等離子清洗機是因為它操作簡單、工作效率高、低成本、環保且去膠后表面光潔。下面小編為大家介紹等離子清洗機在使用中四大影響要素，希望對大家有所幫助。
 

　　一、 調整合適的頻率：頻率越高，氧越易電離構成等離子體。頻率太高，以致電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子磕碰概率反而減少，使電離率降低。通常常用頻率為 13.56MHz及2.45GHZ 。
 

　　二、 調整合適功率：關于必定量的氣體，功率大，等離子體中的的活性粒子密度也大，去膠速度也快;但當功率增大到必定值，反響所能耗費的活性離子到達飽滿，功率再大，去膠速度則無顯著添加。由于功率大，基片溫度高，所以應根據技術需求調理功率。
 

　　三、 調整適合的真空度：恰當的真空度，可使電子運動的平均自由程變大，因而從電場取得的能量就大，有利電離。別的當氧氣流量必守時，真空度越高，則氧的相對份額就大，發生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高，活性粒子濃度反而會減小。
 

　　四、 氧氣流量的調整：氧氣流量大，活性粒子密度大，去膠速率加速;但流量太大，則離子的復合概率增大，電子運動的平均自由程縮短，電離強度反而降低。若反響室壓力不變，流量增大，則被抽出的氣體量也添加，其間尚沒參與反響的活性粒子抽出量也隨之添加， 因而流量添加對去膠速率的影響也就不甚顯著。